技术编号：29342031
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种链式氧化炉及激光se电池生产线技术领域.本申请涉及硅电池制备领域，具体而言，涉及一种链式氧化炉及激光se电池生产线。背景技术.链式氧化工艺在整个硅电池制备领域中极其重要。链氧工序时间很短.分钟左右，所有硅电池前道se激光工序制备的打激光区域都在链氧工序氧化成一层致密的二氧化硅保护膜。.现有的链式氧化炉设计都是分为预热段，氧化段和冷却段，每段实现不同的功能。预热段主要作用是对硅电池进行加热，预热温度通常在-摄氏度之间。在氧化段，主要作用是将重掺杂区域进行氧化形成一层氧化膜...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。