掩膜装置、显示器件成膜设备及显示器件的制作方法技术资料下载

技术编号:29382189

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.本实用新型属于显示器件制造领域,尤其涉及一种掩膜装置、显示器件成膜设备及显示器件。背景技术.由于发光显示面板对水氧具有较强的敏感性在遇到水氧之后会发生失效,从而影响发光显示面板的寿命,所以在发光显示面板的制作过程中,最后会对发光显示面板进行成膜封装,在封装的过程中只需要对发光显示面板的发光区域进行成膜封装即可,所以在发光显示面板不需要成膜的地方通常使用掩膜装置进行遮挡。所以发光显示面板表面成膜过程中,为了防止遮蔽装置与成膜平台之间出现缝隙,导致缝隙进入气体,对发光显示面板造成损伤,故需将发...
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