技术编号：29406904
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及硅颗粒生产技术领域，具体而言，涉及一种硅颗粒制备装置及方法。背景技术.流化床法是制备硅颗粒的主要方法，流化床法将含硅气体和氢气按照一定的进料配比进入流化床反应器中，通过加热装置将流化床加热到高温，在高温条件下进行气相沉积反应，反应生成的高纯硅沉积在预先加入流化床反应器内的晶种表面，最后生成粒度、纯度等均符合要求的颗粒性多晶硅。晶种颗粒直径逐渐变大，待晶种颗粒达到一定粒度后逐渐下沉，经反应器底部的分离管道进入至产品罐中。此种方法所需的晶种通常是将硅料进行机械粉碎制得，晶种尺寸不均，...
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