技术编号：29455338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于集成电路的可调电阻薄膜电阻器背景技术.在包括模拟集成电路(ic)在内的ic中，电阻器是用于实现电压调节、射频(rf)部件的采用和其他用途的重要部件。当前，可以在此类背景下实施薄膜电阻器。然而，在给定固定膜厚度和当前材料系的情况下，可获得的薄层电阻的变化仅为大约％。因此，在部署中，通常使此类薄膜电阻器的宽度或长度发生变化，从而在电阻器的电极之间获得预期电阻。尽管可以使薄膜电阻器的厚度发生变化，以调节电阻器，但是这样的厚度变化带来了其他问题，包括后续工艺(尤其是干法蚀刻和平面化集成工艺)的...
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