技术编号：29459414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及基板的位置对准方法。详细而言，本发明涉及即使对于在周缘产生了翘曲的基板也能够进行准确的中心位置对准、或者能够进行准确的角度对准的基板的位置对准方法。背景技术.以往，在半导体晶片(以下记为基板)的对准工序中使用的对准器装置中，为了设定基板的准确的位置和朝向而进行载置到载物台上的基板的准确的中心位置对准。另外，进行利用了定向平面、凹口等基准标记或附加到基板表面的各种标记等的角度对准。.在这样的对准器装置中，为了应对镜面状、透明、半透明等或在表面附加有激光标记的基板，提出了一种具备对...
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