一种压力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:29461508

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.本发明涉及压力检测装置技术领域,尤其涉及一种压力传感器。背景技术.现有技术中,压力传感器通常包括密封盖、压力口、压力检测芯片和数模转换芯片。压力检测芯片和数模转换芯片设置在密封盖内,压力口开设于密封盖上,并与压力检测芯片相对设置,以使液体与压力检测芯片的敏感面接触,进而使得压力检测芯片获取液体的压力。在现有技术中,压力传感器在冷凝、高湿或非离子液体应用环境中,尤其是长期浸没在电子氟化液(超算冷却液)中长时间运行时,电子氟化液循环会产生一些微小的颗粒物,颗粒物长时间的累计,会沉积及堵住压力口...
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