一种六自由度的空气弹簧隔振平台技术资料下载

技术编号:29574077

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.本发明涉及精密隔振的技术领域,具体涉及一种六自由度的空气弹簧隔振平台。背景技术.随着科技技术的不断发展,在精密测量与精密加工领域,高精密仪器所研究的对象已达到了微纳尺度,对实验测试和应用环境提出了更为苛刻的要求,而周围环境充斥着各种振动与冲击,这些干扰传导到设备上会对结果造成巨大的影响。因此需要隔振设施来减小或者抵消这些干扰。.现有技术中,空气弹簧能有效地隔离中高频干扰,负载能力强,阻尼可调节,可有效降低振动传递率,保证系统平稳运行,目前采用空气弹簧隔振器搭建大型超精密隔振平台用于无噪音...
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