技术编号：29595386
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于日盲紫外探测技术及纳米材料制备技术领域，更具体地，涉及一种基于金属纳米柱阵列表面等离子体激元的日盲紫外探测器。背景技术.日盲紫外探测器由于其超高的传感能力和超强的抗干扰能力近几年来被广泛研究。algan、mgzno、金刚石和氧化镓等宽带隙半导体常被用来制作日盲紫外探测器，与algan、mgzno相比氧化镓不需要掺杂就能拥有超宽的带隙，且具有稳定性好和制备工艺简单等优点。.然而，由于gao薄膜本身的高阻特性使得器件的响应度和探测效率并不高，基于β-gao薄膜的紫外探测...
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