技术编号：2960727
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属一种离子源装置，具体涉及一种离子源的离子束引出系统。背景技术离子源可用于材料的表面加工，如刻蚀、抛光、辅助镀膜等，其结构主 要是包含一放电室，和固定在放电室上的离子束引出系统，放电室用于产生离子，离子束引出系统用于将离子引出，参见图l、 2，离子束引出系统主要 结构是设有两片栅极， 一片是屏栅5， 一片是加速栅6。目前公知的考夫曼离 子源按引出离子束外形的不同分为圆形和矩形两类，圆形离子源离子束引出 系统的屏栅5和加速栅6上分别设有圆形的栅网区...
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