技术编号：29632980
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及气体检测技术领域，特别是涉及一种真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器以及真空封装器件内部气氛的检测设备。背景技术.对电子元器件(如mems器件，micro-electro-mechanical system)进行真空封装，能够显著提高器件性能。然而，真空封装器件可能在制造过程中不能达到预定的真空效果，或者在使用过程中发生真空效果的退化，而引起产品性能恶化甚至失效。针对以上问题，研究如何提高真空封装成品率和可靠性，需要对真空封装的电子元器件内部气氛进行测量分析，确定真空封装气密...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。