功率芯片快速测试基板的制作方法技术资料下载

技术编号:29633078

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.本发明涉及半导体功率器件技术领域,尤指一种功率芯片快速测试基板。背景技术.现有的像igbt、mosfet这一类的功率器件产品,常规情况下在晶圆生产完成后,需要对晶圆上的晶粒(芯片)进行封装,封装后进行参数性能的测试评估。.但是,由于芯片封装需要一定的周期,且封装形式也会对可封装的芯片尺寸有所限制,导致功率芯片的测试效率较低,通用性较差。因此,需要一种通用性更强,测试效率更高的功率芯片快速测试基板。发明内容.本发明的目的是提供一种功率芯片快速测试基板,以解决现有技术中功率芯片测试效率较低...
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