带电粒子束装置的制作方法技术资料下载

技术编号:29633423

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

.本发明涉及带电粒子束装置。背景技术.为了进行试样中的关注对象物的检测和/或评价,使用带电粒子束装置。带电粒子束装置向试样照射带电粒子束,利用由照射引起的信号来进行关注对象物的检测和/或评价。在专利文献中公开了这样的带电粒子束装置的例子。.现有技术文献.专利文献.专利文献:日本特开-号公报发明内容.发明要解决的课题.然而,在现有技术中,虽然对检测某个特定的构造是有效的,但存在难以进行不同种类的构造混合存在的情况下的处理的课题。例如,为了检测某个形状的粒子而学习...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 邢老师:1.机械设计及理论 2.生物医学材料及器械 3.声发射检测技术。
  • 王老师:1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
  • 王老师:1.机器人 2.嵌入式控制系统开发
  • 张老师:1.机械设计的应力分析、强度校核的计算机仿真 2.生物反应器研制 3.生物力学
  • 赵老师:检测与控制技术、机器人技术、机电一体化技术
  • 赵老师:1.智能控制理论及应用 2.机器人控制技术 3.新能源控制技术与应用
  • 张老师:激光与先进检测方法和智能化仪表、图像处理与计算机视觉