技术编号：29633423
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及带电粒子束装置。背景技术.为了进行试样中的关注对象物的检测和/或评价，使用带电粒子束装置。带电粒子束装置向试样照射带电粒子束，利用由照射引起的信号来进行关注对象物的检测和/或评价。在专利文献中公开了这样的带电粒子束装置的例子。.现有技术文献.专利文献.专利文献：日本特开-号公报发明内容.发明要解决的课题.然而，在现有技术中，虽然对检测某个特定的构造是有效的，但存在难以进行不同种类的构造混合存在的情况下的处理的课题。例如，为了检测某个形状的粒子而学习...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。