一种智能检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的系统及方法与流程技术资料下载

技术编号:29638097

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.本发明涉及镀膜检测技术领域,具体为一种智能检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的系统及方法。背景技术.光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程,在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。.在镀膜过程中,由于镀膜的种类不同,需要镀膜的物件不同,导致在镀膜过程中的厚度均匀不相同,从而导致镀膜的整体质量以及美观度,同时,现有的检测设备无法对镀膜的厚度均匀性进行检测,导致系统判...
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