技术编号:29638097
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及镀膜检测技术领域,具体为一种智能检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的系统及方法。背景技术.光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程,在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。.在镀膜过程中,由于镀膜的种类不同,需要镀膜的物件不同,导致在镀膜过程中的厚度均匀不相同,从而导致镀膜的整体质量以及美观度,同时,现有的检测设备无法对镀膜的厚度均匀性进行检测,导致系统判...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。