技术编号：2969178
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种所谓Bernus型离子源，具有一种其中在等离子体产生容器内提供灯丝和反射器的结构，在连接灯丝和反射器的方向上施加磁场，本发明还应用所述离子源的操作方法，更特别地涉及提高离子束中的分子离子比例的装置。例如，在日本专利未审公开No.Hei.11-339674(JP-A-11-339674)中公开了这种类型的离子源的一个实例。下面将参考图3和4描述该专利。这种离子源包括一种等离子体产生容器2，从作为阳极的气体进口6向其中引入离子源气体，在该等离子体...
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