技术编号:29721874
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于机电设备技术领域,具体涉及直流磁控溅射电源。背景技术.在机电设备中经常会需要高频变换的模式进行直流输出,而此时需要使用直流磁控溅射电源,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现,且电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及反应膜层环境使用。.直流磁控溅射电源在安装和拆卸时,工作人员需要依靠直流磁控溅射电源表壁的把手来移动直流磁控溅射电源,但是受限于直流磁控溅射电源的体积,把手通常较小,实际应用时,工作人员很难通过把手对直流磁控溅射电源进行移动,且直流磁控溅射电源需要...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。