技术编号:29743962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及硅片生产技术领域,具体涉及一种散热屏定位维修装置及方法。背景技术.单晶硅生产中会遇到热场升级改造的情况。在热场升级改造的过程中,水冷散热屏需要进行定位维修,此时需要将水冷散热屏和其下方的导流筒由单晶炉中取出以进行维修,在维修过程中,由于导流筒需要频繁进行升降,容易发生掉落事故,严重降低了生产效率。发明内容.有鉴于此,本发明提供一种水冷散热屏定位维修装置及方法,用以解决水路管道较长,导流筒在升降过程中发生倾斜的问题。.为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:.根据本发明实...
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