技术编号:29799597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种基片输送装置。背景技术.专利文献中公开了一种基片输送装置,其用于通过使输送臂驱动,从一个处理模块对其它处理模块输送基片。.现有技术文献.专利文献.专利文献:日本特开-号公报发明内容.发明要解决的技术问题.本发明提供能够高效地排出在驱动部驱动时产生的颗粒的技术。.用于解决技术问题的技术方案.本发明的一个方式的基片输送装置,是输送基片的基片输送装置,其包括:保持上述基片的基片保持部;支承上述基片保持部的支承部;使上述支承部在一个方向上移动的驱动...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。