技术编号：2984389
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对无定形硅进行结晶的器件，更具体地，涉及一种由连续横向结晶(sequential lateral solidification(SLS))方法所应用的、用于硅层结晶的可变掩膜器件。背景技术 无定形硅薄膜晶体管(a-Si TFT)已经广泛地用作图像显示器件(例如液晶显示器件(LCD)等)的开关器件。然而近年来，随着对高图像质量LCD的需求的增长，已经在积极地从事使用多晶硅(此后称为多硅或多Si)TFT用作开关器件的研究，多晶硅TFT的工作速度比...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。