技术编号:29848538
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明实施例涉及半导体领域,特别涉及一种半导体结构的制备方法及半导体结构。背景技术.半导体结构中的存储器是用来存储程序和各种数据信息的记忆部件,随机存储器分为静态随机存储器和动态随机存储器。动态随机存储器的制造和设计中,经常涉及电路所需的电阻结构,比如应用于电路中的降压和限流电阻以及稳压电路中的取样电阻、延时电路中的定时电阻。.通常在半导体结构的衬底表面上形成掺杂的多晶硅层,得到电路所需的电阻结构。然而以此方法形成电阻结构,制备过程复杂,且电阻结构占用的空间较大,增大了半导体结构的生产成...
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