片上集成光谱仪及其制作方法及电子设备与流程技术资料下载

技术编号:29868633

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.本申请涉及半导体器件技术领域,更具体的说,涉及一种片上集成光谱仪及其制作方法及电子设备。背景技术.光学技术,尤其是光通信技术,因其本身信息承载量大、信息交换速度块、布网成本低以及保密程度高等特殊优势,在信息爆炸的时代得到了长足的发展。尤其当半导体技术不断的发展,电学结构在物理层面不断受到物理极限的限制,光学结构就表现出了更加突出的潜力。.光作为一种电磁波,覆盖了非常广泛的波段。而对光学技术研究的核心,就是对光谱结构进行分析,因而光谱仪成为了一种非常重要的科研和生产设备。尤其是覆盖通信波段...
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