技术编号:30061980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及阻抗匹配网络调节技术领域,特别是涉及一种阻抗匹配网络调节方法。背景技术.射频电源系统包括射频电源,射频电源是等离子体腔室的配套电源,应用于射频溅镀、pecvd化学气相沉积、反应离子刻蚀等领域中。在实现过程中,发明人发现传统技术中至少存在如下问题:.等离子体腔室中的非线性负载的阻抗与射频电源的恒定输出阻抗并不相等,故在射频电源和等离子体腔室之间具有严重的阻抗失配,使得传输线上存在较大的反射功率,射频电源产生的功率无法全部输送到等离子体腔室,功率损耗较大。.为解决这种问题,通过对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。