技术编号：3007790
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体装置、印刷基板、液晶显示元件等的曝光装置等 中，移动工作台，将工作台上的对象定位于规定的位置，且在长行程上移动工作台的可实现y方向平移和θ旋转的平移旋转二自由度载物台装置， 或者在该平移旋转二自由度载物台装置上加装了x方向平移驱动机构的三自由度载物台装置。背景技术现有的第1例的载物台装置包括可移动地轴支承具有可动工作台的载物台的一端部和另一端部的可动支承机构；及控制可动工作台和可动支承机构的位置控制部，其不仅在直线方向上，即使在旋转方向上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。