技术编号:30086338
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及化学气相沉积膜设备技术领域,特别是一种化学气相沉积设备内部配件的清洁工艺及设备。背景技术.典型的化学气相沉积工艺是将基材暴露在一种或多种不同的前趋物下,在高温、等离子等反应条件下,让多种气相发生化学反应或/及化学分解,在基材表面产生被沉积的薄膜。相对于等离子技术,热丝法可制备大面积金刚石薄膜,且综合成本最低,具有良好的工业推广潜能,.目前市场上主流设备生产厂家的设备通常只有一个反应腔,不能同时进行多种工艺,由于沉积不同层次的薄、不同尺寸的膜时,气相的成分和流量不一样,所需的温度...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。