静电保护器件的制作方法技术资料下载

技术编号:30087252

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.本发明涉及一种半导体集成电路,特别是涉及一种静电保护(esd)器件。背景技术.如图所示,是静电保护器件的应用电路图;静电保护器件设置在输入输出焊垫和地之间,当输入输出焊垫中出现静电时静电保护器件被触发并对静电进行泄放,从而实现对内部电路的保护。.如图a所示,是现有静电保护器件的剖面结构示意图;图b是图a中一个三极管的剖面结构示意图;现有静电保护器件至少包括一个三极管,以所述三极管为pnp为例,所述三极管包括:.具有n型掺杂的第一阱区。.具有...
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