技术编号:30172257
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于氧化皮清除技术领域,涉及一种管靶外包套内壁氧化皮的处理方法。背景技术.为了提高靶材的利用率,人们越来越多地制造和使用管状靶材(简称管靶),即把靶材做成管子形状,管子里面装有静止不动的磁体。溅射过程中,管靶以一定的速度转动,所以也被叫做旋转靶材(rotating target/rotary target)。由于转动的管靶和静止不动的磁体之间发生相对运动,整个管靶表面均匀地发生溅射,靶材材料的利用率可以高达%以上。液晶显示及触控屏行业需要的钼合金管靶,特别是成分均匀、无偏析、晶粒...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。