技术编号:30223728
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。gan基激光二极管的脊波导组件、gan基激光二极管及方法技术领域.本发明涉及激光二极管技术领域,尤其涉及一种gan基激光二极管的脊波导组件、gan基激光二极管及方法。背景技术.边发射的激光二极管,为了形成良好的脊波导结构,在脊的侧面覆盖光学绝缘层sio,可以形成光学限制,让电流从脊上注入形成高电流密度,达到激光阈值;为了形成较好的光学限制,脊两侧的外延层会蚀刻掉,造成镀完电极后,脊位置的电极更高,不利于共晶封装。目前的方式通常是采用钝化层结构进行加厚,与脊形成相近高度,改进封装的压力平衡,...
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