技术编号:30223761
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种带孔洞钝化层的gan基激光二极管结构及制造方法技术领域.本发明涉及激光二极管技术领域,尤其涉及一种带孔洞钝化层的gan基激光二极管结构及制造方法。背景技术.边发射的激光二极管,为了形成良好的脊波导结构,在脊的侧面覆盖光学绝缘层,可以形成光学限制,让电流从脊上注入形成高电流密度,达到激光阈值;目前的方式通常是采用折射率在.左右的sio等绝缘材料,才可以形成较好的光限制效果。但这样对sio等绝缘材料的折射率要求高,不利于制造。发明内容.基于此,本发明的目的在于提供一种带孔洞钝化层...
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