技术编号：30225371
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于等离子体领域技术领域，更具体地，涉及一种等离子体与外电路的阻抗匹配方法及阻抗匹配系统。背景技术.等离子体在微电子工业、气体放电、可控聚变、表面处理和灭菌消毒等领域中有着非常广泛的应用。在各类等离子体设备中，射频电源经过匹配电路后作用到等离子体腔室上，等离子体腔室中的气体吸收电源传递过来的功率开始放电，最终形成稳定的等离子体。匹配电路的作用就是最大限度地提高传输到等离子体负载的功率，并使反射回电源的功率最小，对匹配电路结构和匹配调节方法的研究具有重要意义。而通常情况下，匹配参数需要...
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