技术编号：30227514
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于红外光电器件领域，特别涉及一种共栅控的铟镓砷阵列光电探测器的结构。背景技术.波长范围至微米的短波红外谱段包含c-h、h-o、n-o等重要的分子振动特征光谱，同时也是环境辐射中能量最强的红外谱段，因此在微光夜视、光谱成像、物质光谱检测以及工业测温等领域均有广泛应用。铟镓砷探测器是短波红外波段综合性能最佳的光电探测器。其材料主要在磷化铟衬底上异质外延获得。从基本器件结构上分为台面型和平面型两种结构。.台面型像素结构应用于焦平面探测器可获得比平面型器件更低串音的重要优势。随着短波...
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