技术编号:30238294
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种半导体生产用mfc校验装置技术领域.本实用新型涉及一种mfc校验装置,用于对半导体生产过程中的 mfc进行校验。背景技术.mfc为质量流量控制器的英文简称,用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制,在半导体的生产过程中,扩散、氧化、分子束外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备等都会用到mfc。.随着半导体设备的大规模应用,所用的工艺特气种类较多,且这些特气有强腐蚀性的、剧毒性的、易燃易爆,因此对这些工艺气体的控制必须是精确控制的,而mfc则是用来精确的控制流量...
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