技术编号：30261981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及太阳能电池制造设备领域，尤其涉及一种扩散炉的炉门密封结构。背景技术.扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。在半导体扩散工艺中，恒温区温度分布均匀性是对扩散炉的基本要求。目前的扩散炉内温度分布不均匀，尤其是炉门处的温度与炉内温度差异较大，不利于产品稳定性，还会带来炉门粘连的问题。发明内容.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种扩散炉的炉门密封结构...
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