技术编号:30273204
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种点蒸发源坩埚、蒸镀机及oled器件技术领域.本实用新型涉及蒸镀制程技术领域,尤其涉及一种点蒸发源坩埚、蒸镀机及oled器件。背景技术.oled,即有机发光二极管,oled是继lcd后新一代的显示器,具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点。目前oled器件在制作过程中,oled器件上的玻璃基板需要在真空环境下采用蒸镀成膜的工艺,通过蒸镀机将待蒸镀物蒸镀到玻璃基板上形成有机薄膜,用于实现oled器件的发光。.在现有技术中,蒸镀机通常选用点蒸发源坩埚进行蒸镀,点蒸发源坩埚将...
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