技术编号:30347827
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及多晶硅、单晶硅生产技术领域,更具体地说,它涉及一种改性活性炭载体、液相氯硅烷除杂吸附剂及该吸附剂的生产工艺。背景技术.多晶硅是生产单晶硅的直接原料,也是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,具有广泛的应用领域。多晶硅中的杂质含量将直接影响太阳能光电转换率,高纯度的多晶硅是太阳能光伏新能源的重要材料。.目前生产多晶硅的方法有化学法和物理法,其中化学提纯方法主要有西门子法、甲硅烷热分解法、流态化床法,而物理提纯方法主要有区域熔化提纯法、直拉单晶法...
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