技术编号:30349142
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及电子化学品生产技术领域,特别涉及一种从硫铁矿直接生产电子级硫酸的装置及方法。背景技术.硫酸,化学式为hso,相对分子质量为.,是一种无色无味油状液体,是一种高沸点难挥发的强酸,易溶于水,能以任意比与水混溶。硫酸是基本化学工业中重要产品之一。.电子级硫酸目前广泛应用于集成电路制作工艺,用作抗蚀剂剥离,最常用的硫酸的浓度在wt%左右。残留在基片及相关设备上的有机污染物会对正常生产产生不良的影响,电子级硫酸结合过氧化氢或臭氧可在沉积金属前去除基片表面上的有机污染物。...
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