技术编号：30359002
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体制造用设备领域，特别是一种匀胶机用硅片传送臂。背景技术.匀胶机是用于硅片匀胶的主要设备。其主要功能就是实现在硅片正面和/或背面涂布设定好的光刻胶。此设备为全自动设备，因此需要一个机械手臂将硅片从硅片筐中取出，其工作原理为：将整体手臂安装在运行主轴上，主轴上的真空孔与手臂上的真空孔相对应，当手臂到达硅片下方，接触到硅片中心后，真空阀门打开。手臂将硅片吸住，进而运行主轴的带动下将硅片传送到下一位置。原机械手臂要靠真空吸附硅片，吸附硅片的位置是需要和硅片中心接触，这在实际工艺...
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