技术编号：30404150
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于半导体制造和太阳能光伏电池制造领域，涉及一种新型冷却装置。背景技术.现有的气体、液体冷却结构大多采用风冷、水冷的结构形式，不能用于快速冷却腐蚀性气体的需求工况，而现有的高温腐蚀性气体冷却方式有限，大多采用石英盘管、石英盘管浴水冷、石英盘风冷，金属盘管镀层水冷、风冷等方式，但是存在石英易碎，冷却效果有限等缺陷，本实用新型有效地解决了这种问题。发明内容.本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种新型冷却装置。.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种新型冷却装置...
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