技术编号：3040489
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种烧蚀工艺及其装置，用于通过脉冲激光束从工件清除材料并用于控制颗粒形式的碎屑和该工艺产生的烧蚀产品。具体地，涉及使用激光从例如用于制造平面显示器(FPD)或太阳电池板的大块基体去除，雕刻或清除有机，无机或金属材料薄膜，和在大面积聚合物板表面激光烧蚀出复杂的高密度的3D结构，以便形成制造透镜阵列、扩散器和其他用于显示单元的器件的母体。背景技术 通过脉冲激光束的直接烧蚀工艺结构化材料是广泛用于在(但不限于)医药、汽车、太阳能、显示器和半导体工业中生...
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