技术编号：30434557
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及存储技术领域，尤其涉及一种铁电存储器件及其制造方法。背景技术.随着大数据，物联网的需求越来越广泛，传统的存储器已经不能满足高速高集成度的要求，新材料、新器件的新型存储器具有更广阔的发展潜力和研究价值。.氧化铪基铁电材料是纳米电子学中的关键材料，材料可以实现自发极化翻转特性，具有稳定的翻转性能和读写性能。例如，锗基铁电晶体管(fe-fet)是存储器中的关键器件，器件可以实现存储器非破坏读取，并且与coms工艺结合，具有功耗低，响应速度快的特点。然而，目前这类铁电存储器件的循环次数...
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