技术编号:30449477
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种谐振器及其制备方法。背景技术.伴随着g时代的到来,移动通讯系统向着更高频,更宽频段的目标发展着。通讯设备中的射频滤波器是对信号进行接收与传输的基础。射频前端中的滤波器作为核心器件,其性能的好坏直接决定了射频前端模组的优劣。而滤波器是由若干个谐振器组成的,因此,谐振器的性能好坏也直接决定了滤波器的质量。谐振器通常包括层叠的衬底、下电极层、压电层和上电极层,但是在衬底上形成下电极层的方式会因为下电极层和衬底之间存在晶格失配的问题,影响后续的压电层的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。