技术编号：30453292
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及单晶炉热场用圆环产品技术领域，尤其涉及一种碳碳复合圆环。背景技术.碳材料为单晶炉内必然会使用的热场材料，每台单晶炉内热场需配套多个下保温盖、支撑环及过渡环等圆环产品。现有技术中通常采用石墨材料进行支撑环等圆环产品的制备，但是石墨材料脆性大，强度低，随着热场尺寸的增大，石墨制品加工成本增高，且直拉法单晶硅制备工艺中，对于热场装置需要多次进行拆装，容易导致石墨件的损坏。.碳碳复合圆环为单晶炉内使用的支撑圆环，目前，碳碳复合圆环一般通过碳碳方板或者碳碳圆盘板加工而成；还有一些厂商在板...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。