高压脉冲电源和功率半导体测试装置的制作方法技术资料下载

技术编号:30522862

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.本发明涉及高压脉冲电源技术领域,特别是涉及一种高压脉冲电源和功率半导体测试装置。背景技术.功率半导体检测是产品良率和成本管理的重要环节,在半导体制造过程有着举足轻重的地位。随着功率半导体需求数量的增多,对测试设备的需求也变得更加迫切。在针对功率半导体静态参数的iv特性参数测试中,较为重要一种测试装置包括高压脉冲电源,高压脉冲电源可以用于提供测试电压。.在目前现有的高压脉冲电源设计中,常常采用多级mos管(mos管,是mosfet的缩写,metal-oxide-semiconductor ...
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