技术编号：30554037
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于微机电系统(mems,micro-electro-mechanical system)领域，具体涉及一种应用在微机电系统上的谐振器。背景技术.在谐振式传感器中，谐振子的品质因子(q值)是一个极其重要的性能指标，q值反映了谐振子振动过程中阻尼系数的大小及其消耗能量快慢的程度。谐振子的阻尼越小，q值越高，由阻尼消耗的能量越少，系统的储能效率越高，系统抗外界干扰的能力越强；q值也反映了幅频特性曲线谐振峰陡峭的程度，q值越高，谐振子的谐振频率与系统的固有频率越接近，系统的选频特性越好，越...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。