技术编号：30577919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光电检测的技术领域，尤其涉及一种同轴正入射散斑偏折术测量方法，以及这种同轴正入射散斑偏折术测量方法所采用的装置，其能够对小口径非球面镜面进行面形及形变的瞬态无损高鲁棒性测量。背景技术.如今非球面镜面表面广泛应用于各类工业生产和实践环节，如平板显示的玻璃基板，汽车、航空工业中产品的涂装镀膜镜面等。镜面物体表面具有镜面反射特性，导致适用于漫反射物体表面检测的常规光学检测手段(如条纹投影法、数字图像相关法)无法适用。目前应用广泛的是一种以正弦条纹作为结构光的相位偏折术，它具有动态范围大...
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