技术编号：30594036
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种感测装置及对应的测试方法。背景技术.传统mems传感器的测试有很多难点，针对不同的mems传感器，由于传感器受到的激励不同，往往需要多样化的物理测试激励，目前工业上没有一种通用的解决方案，并且测试设备昂贵，测试过程耗时耗力，测试效率低，这无疑大大增加了传感器的成本。另外，压阻传感器使用时间一段后，性能可能会降低，需测试是否符合要求，然而，现有可以实现对已投入使用的压阻传感器进行测试的方法耗时耗力，提高测试成本的同时也很不方便。因此，提出一种测试方案，使...
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