技术编号：30663602
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种晶圆处理设备。背景技术.隔膜的高阻隔性能是许多聚合物包装材料都要求具备的特性之一。在专业术语中高阻隔是指对低分子量的化学物质，如ho、o、有机化合物等具有非常低的透过性。目前，高阻隔膜在食品药品包装、电子器件封装、太阳能电池封装等领域都有不同级别的需求。.为了提高阻隔材料的阻隔性能，目前常采用的技术手段主要包括多层复合、表面涂覆、材料复合、表面改性等。其中在聚合物表面涂覆叠层材料，在薄膜表面形成致密而且阻隔性能优异涂层的方法，其阻氧、阻水性能最...
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