技术编号：30720874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种检测装置，具体是一种片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置，属于气体检测技术领域。背景技术.单硅片的加工生产流程一般包括长晶、滚圆、线切、双面减薄、边缘倒角、表面腐蚀、热处理、抛光、清洗、外延、检测、包装等主要步骤，在包装硅片时，首先将硅片放入到片盒中，再将片盒放入到包装袋中，并对包装袋进行抽真空操作完成包装步骤，然后再运送至客户手中。但是，若在包装时出现漏气、真空太紧(片盒内硅片变形、拆袋时易受污染)、真空太松(装箱困难、高空运输易受气压影响破损)等问题，且未能及时有效地...
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