技术编号：30753519
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及加速度传感器领域，具体涉及一种低噪声宽频带高动态范围的加速度传感器实现方法及系统。背景技术.随着科技的进步，工业生产制造领域已基本实现自动化、智能化，与此同时，精密器件加工的工艺要求不断提高，因此，在精密制造与检测环节，任何细微的振动都不容忽视。.工业机器人手臂的一个工作进程由若干个动作组成，不同的动作有着不同的振动特征，这种不可控振动总体上具有范围大(ng～g)、频带宽(～hz)的特点，细微振动的精准检测是对其进行抑制或补偿的前向条件，因此，迫切期望一种加速度传感...
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