技术编号:30781028
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及设备维护保养技术领域,特别涉及一种推车柜。背景技术.在半导体制造过程中,对工厂(fabrication,fab)环境的tvoc(total volatile organic compounds,总挥发性有机物)的含量要求很高,工厂内通常会安装多个监测点用于监测tvoc的含量,防止tvoc的含量高于限定值。.光刻机和使用丙酮、异丙醇或酒精等tvoc的设备,在对这些设备进行pm(prevention maintenance&productive maintena...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。