技术编号：30795697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。溅射涂覆基板或制造溅射涂覆基板的方法和设备.本发明涉及溅射涂覆具有两个相反的二维延伸表面的基板或制造具有两个相反的二维延伸表面的溅射涂覆基板(也称为“板形”基板)的方法。由此，多于一个板形基板围绕公共轴连续旋转，且相对于公共轴在径向方向上考虑，与基板等距。因此，基板围绕公共轴沿着公共环形轨迹连续旋转。环形轨迹具有内周缘和外周缘及中心线(即，在环形轨迹的外周缘和内周缘之间居中的圆形轨迹线)。.在基板围绕公共轴旋转移动期间，它们通过至少一个磁控管溅射源。磁控管溅射源包括固定磁控管-磁体装置和具有...
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