技术编号:30823742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明的实施例涉及集成电路及其形成方法。背景技术.对提高包括智能手机、平板电脑、台式计算机、笔记本计算机和许多其他类型电子器件的电子器件的计算能力的需求一直存在。集成电路为这些电子器件提供计算能力。增加集成电路中计算能力的一种方法是增加可以包括在半导体衬底的给定区域中的晶体管和其他集成电路部件的数量。.纳米结构晶体管可以帮助提高计算能力,因为纳米结构晶体管可以非常小并且可以比传统晶体管具有改进的功能。纳米结构晶体管可以包括充当晶体管的沟道区的多个半导体纳米结构(例如纳米线、纳米片等)。栅...
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